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紫外線吸收法：利用臭氧對特定波長紫外線的強(qiáng)烈吸收特性（臭氧僅對波長253.7nm的紫外線具有最大吸收系數(shù)），通過測量紫外線強(qiáng)度的變化來推算臭氧濃度。這種方法需要穩(wěn)定的紫外燈光源產(chǎn)生紫外線，并使用光波過濾器過濾掉其他波長紫外光。樣品經(jīng)過臭氧吸收池后，通過比較樣品光電傳感器和采樣光電傳感器的電信號，再經(jīng)過數(shù)學(xué)模型的計(jì)算，得出臭氧濃度。

光離子化法：利用臭氧分子在高能紫外光照射下發(fā)生電離，產(chǎn)生的離子電流與臭氧濃度成正比。

二、主要構(gòu)成

臭氧監(jiān)測儀主要由以下部件構(gòu)成：

低壓紫外燈：產(chǎn)生穩(wěn)定的紫外光源。

光波過濾器：過濾掉其他波長的紫外光，只允許特定波長的紫外光通過。

入射紫外光反射器：反射紫外光以提高檢測效率。

臭氧吸收池：供臭氧分子吸收紫外線的場所。

光電傳感器：將光信號轉(zhuǎn)換為電信號。

電路部件：包括電源、紫外燈控制、信號放大、濾波、對數(shù)放大器、模擬輸出及顯示等部分。

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